当社は、分光器や顕微鏡、ラマン測定装置、フォトルミネッセンス測定装置などの 光学測定装置の設計、製造、販売を行っております。 |
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SiC評価用PLイメージング装置
SemiScope
用途に合わせて、 写真は、標準モデルの「PLI-200」です。
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2013年(第14回) 東京都ベンチャー技術大賞 大賞を受賞!! |
SiC評価用PLイメージング装置 SemiScopeは、1μm以下の分解能でフォトルミネッセンス(PL)画像を測定することができるPLイメージング装置です。試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで、約33億画素の解像度で6インチウェハ全面のPL画像を得ることができます。SemiScopeは、SiC半導体PLイメージング測定ができる世界で唯一の製品です*。
*2014年7月1日現在。弊社の調査による。